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[신제품] AI 시대 프로브 카드를 확실하게 검사하는 신형 플라잉 프로브 테스터 FA1815-20 발매

작성자 : 히오키코리아 2024-03-25 17:03:52

첨부파일

게재일: 2024년 3월 25일

 

HIOKI는 최첨단 IT 기술에 사용되는 고밀도 기판 검사를 위한 플라잉 프로브 테스터*1FA1815-20을 2024년 3월 26일 발매합니다. FA1815-20은 초당 100포인트의 빠른 검사 속도와 높은 프로브 위치 정확도, 10V 전압에서 100GΩ의 높은 절연 저항*2을 검사할 수 있는 기능을 탑재하고 있습니다. 프로브 카드※3를 비롯한 고밀도 기판의 검사 시간 단축과 잠재적 불량을 배제한 높은 품질을 실현하여 반도체 산업의 생산성 향상에 기여합니다. 

 

*1 플라잉 프로브 테스터: 회로 기판 검사 장치. 설정된 기판에 대해 측정 프로브(금속 핀)가 고속으로 이동하며 회로를 검사한다. 설정을 변경하여 다양한 패턴의 기판에 대응 가능. 

*2 절연 저항: 여러 회로 패턴 사이의 저항. 생산된 기판에서 회로 패턴 사이의 저항이 낮으면 최종 제품의 고장이나 오작동의 원인이 된다.

*3 프로브 카드: 반도체 생산 공정에서 검증에 사용되는 지그. 베이스가 되는 기판 부분이 미세한 패턴으로 구성되어 있다. 

 


FA1815-20 내부 및 검사 대상의 고밀도 기판 

 

■개발 배경 

인공지능, 5G, IoT(Internet of Things)와 같은 새로운 IT 기술이 전 세계적으로 빠르게 발전하고 있습니다. IT 기술을 탑재한 전자제품의 이용이 사회적으로 확대됨에 따라 요구되는 신뢰성도 점점 더 높아지고 있습니다. IT 기술의 전제가 되는 전자회로는 고밀도 기판이라고 불리는 하드웨어에 탑재되어 있습니다. 고밀도 기판은 반도체 기술의 발전에 따라 날로 고집적화가 진행되고 있습니다. 고집적화의 진전은 회로 패턴의 미세화와 패턴 수의 증가를 가져왔고, 고밀도 기판 제조 시의 검사는 그 어느 때보다 높은 품질이 필요해졌습니다. FA1815-20은 고도화되는 시장의 요구에 부응하여 기존 모델에 비해 속도와 정밀도를 모두 개선하여 기판에 손상을 입히지 않고 잠재적 불량을 검출하는 기능도 탑재하였습니다. 

IT 기술의 발전이 두드러지는 반도체 시장에서는 차세대 기술을 사회적으로 구현하기 위해 생산성과 신뢰성의 향상이 요구되고 있습니다. 고밀도 기판의 마더 툴(Mother tool)인 플라잉 프로브 테스터에 강점을 가진 HIOKI는 FA1815-20을 통해 새로운 가치를 제공하고 사회 발전에 기여해 나갈 것입니다. 

 

■출시 제품의 특징 


플라잉 프로브 테스터 FA1815-20 

 

1. 높은 신뢰성을 실현하는 프로빙 정확도 

고집적화에 따라 회로 패턴의 미세화가 진행되고 있습니다. FA1815-20은 고강성 기체 설계와 새로운 프로브 제어 방식으로 최소 34μm 피치(측정 패턴 간 거리)와 최소 4μm 크기의 패드(회로상의 측정 지점)의 분해능을 가지고 있어 극소형 회로 패턴에서도 확실한 프로브 접촉이 가능합니다. 

 

2. 생산성 향상을 위한 고속 검사 실현 

고집적화에 따라 탑재되는 회로 패턴의 수 또한 증가하고 있습니다. FA1815-20은 기계 하드웨어의 재설계와 새로운 프로브 이동 알고리즘을 채용하여 기존 모델 대비 최대 30%*4의 검사 시간 단축을 실현하였습니다. 

*4 도통 절연 검사 약 4만 스텝으로 비교

 

3. 기판 손상 저감하는 10V에서 최대 100GΩ의 절연 저항 검사  

오작동이나 고장의 원인이 되는 회로 기판의 잠재적 결함은 고전압 절연 저항 검사를 통해 발견할 수 있습니다. 그러나 고전압을 가하면 검사 자체가 기판에 손상을 입힐 수 있는 우려가 있습니다.FA1815-20은 헤드 앰프개량을 통해 10V의 전압에서 최대 100GΩ의 절연 저항을 검사할 수 있습니다. 기판 손상 위험을 최소화하면서 신뢰성 높은 검사를 실현하고 있습니다. 

 

 

■주요 용도 

- AI 연산에 사용되는 GPU용 프로브 카드 검사 

- 5G, IoT 디바이스 반도체용 고밀도 기판 검사 

- 스마트폰, 웨어러블 디바이스, 자율주행차 등 고기능 제품의 기판 검사 

 

■발매 시작일 

2024년 3월 26일 

 

■제품보러가기(클릭) 

 

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